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工业气体厂六氟化钨 CAS:7783-82-6 别名:WF6;Tungstenfluoride;TUNGSTEN(VI) FLUORIDE; CAS No.:7783-82-6 EINECS No. 232-029-1 分子式:WF6 UN No.:2196 SFR®为全球客户提供高纯度六氟化钨(WF6),稳定性强,腐蚀性强。六氟化钨在电子工业中主要用作集成电路的布线材料。经过化学气相沉积工艺,可以形成金属钨导体薄膜。钨导体薄膜通常用作高导电率的互连金属,集成电子中金属层间的通孔和垂直接触的接触孔,以及铝和硅之间的隔离层,因此在半导体集成领域得到广泛应用; 此外,六氟化钨还可用于制造太阳能吸收器和X射线发射电极。规格项目 单位纯度 NF3纯度(V/V)10-2铌?9.999锛?/p 氮气(N2)(V/V)10-6铌? 氧气+氩气(O2+Ar)(V/V)10-6≤.5二氧化碳(CO2)(V/V)10-6≤.5一氧化碳(CO)(V/V)10-6铌?.5 四氟化碳(CF4)(V/V)10-6铌?.5 三氟化氮(NF3)(V/V)10-6铌?.5 四氟化硅(SiF4)(V/V)10- 6铌?.5 氟化氢(HF)(V/V)10-6铌? 金属离子(V/V)10-6铌?.5 优点: ★纯度高 应用范围广 包装:10L / 40LIndustrial Gases 工厂网址:http://www.safe-reagents.com/industrial-gases/ 5 一氧化碳(CO)(V/V)10-6铌?.5 四氟化碳(CF4)(V/V)10-6铌?.5 三氟化氮(NF3)(V/V)10-6铌?. .5 四氟化硅(SiF4)(V/V)10-6铌?.5 氟化氢(HF)(V/V)10-6铌? 金属离子(V/V)10-6铌?.5 优点: ■纯度高 应用范围广 包装:10L / 40LIndustrial Gases 工厂网址:http://www.safe-reagents.com/industrial-gases/ 5 一氧化碳(CO)(V/V)10-6铌?.5 四氟化碳(CF4)(V/V)10-6铌?.5 三氟化氮(NF3)(V/V)10-6铌?. .5 四氟化硅(SiF4)(V/V)10-6铌?.5 氟化氢(HF)(V/V)10-6铌? 金属离子(V/V)10-6铌?.5 优点: ■纯度高 应用范围广 包装:10L / 40LIndustrial Gases 工厂网址:http://www.safe-reagents.com/industrial-gases/


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